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精密光學平台

簡要描述：精密光學平台機械機構、特點、外形設計與(yu) “氣墊式精密隔振平台"相同，不同之處僅(jin) 是未加氣墊，該型號的平台為(wei) 廣大用戶提供了更多的選擇機會(hui) 。

  • 產品型號：ZK-1
  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2025-03-12
  • 訪  問  量：7232
詳情介紹
　　精密光學平台機械機構、特點、外形設計與“氣墊式精密隔振平台”相同，不同之處僅是未加氣墊，該型號的平台為廣大用戶提供了更多的選擇機會。通常采用良好的電機和傳感器技術，可以提供亞微米級別的平移和旋轉控製，使得用戶可以在一個高度準確的位置上對樣品進行操作。為了達到更高的控製精度，通常結合了良好的反饋係統和精密測量設備，可以實現對物體位置、速度、振動等多個方麵的高度保持與控製。在光學試驗、顯微學以及半導體製造等領域，通常需要將樣品或器件放置在一個高度穩定精密控製的平台上進行操作。是一種專用於實現這一目的的精密運動控製裝置。

精密光學平台機

 


 
　　精密光學平台的應用：
 
　　顯微學：是一個關鍵的工具，用於顯微鏡圖像獲取、分析和處理過程中樣本的調整和擺放。
 
　　半導體製造：在芯片製造、線寬校準和接觸式掩模製作(photolithography)等應用中，都發揮著重要作用，提供高精度的位置和角度控製。
 
　　光刻：是用於將納米或微米尺度部件寫入大型平板中的必要工具之一。
 
　　太陽能電池：在太陽能電池生產中，被用於設備和材料的對準和精細控製。
 
　　精密光學平台的維護保養：
 
　　1.保持平台表麵幹燥、清潔，防止灰塵等附著在上麵影響穩定性。
 
　　2.平台底部安裝防震墊可以抑製震動，增強其精度和穩定性。
 
　　3.根據製造商說明，使用適當的潤滑劑定期進行潤滑，確保運動間隙不會磨損過度。
 
　　4.要避免濕度、較高溫度和塵土過多的環境以及長時間不使用的情況下應該妥善存放已平衡並固定好的平台。
 
　　精密光學平台特點：
 
　　高導磁不鏽鋼麵板。
 
　　25×25M 6安裝螺孔方陣。
 
　　蜂窩結構隔振層麵、固有頻率低、隔震性能好。
 
　　中碳鋼牆板，剛性好。
 
　　主要參數
 
　　平麵粗糙度不大於0.8μm
 
　　平麵度不大於0.05mm/m2
 
　　規格
 
　　1200×800×800mm
 
　　1500×1000×800mm
 
　　1800×1200×800mm
 
　　2400×1200×800mm
 
　　其它尺寸可以定做

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