采用了四探針雙電測組合（亦稱雙位組合）測量新技術,將範德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控製下進行兩(liang) 次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械遊移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表麵上的位置。由於(yu) 每次測量都是對幾何因素的影響進行動態的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從(cong) 而提高了測量結果的準確度

儀(yi) 器按照單晶矽物理測試方法國家標準並參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，於(yu) 測試半導體(ti) 材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀(yi) 器。