鑒別精密光學平台質量優劣的步驟
1、 外觀:
精密光學平台外觀應美觀,各部位都應無影響安全的銳角及銳邊,更重要的是檢查孔口倒角是否均勻一致(螺孔旋入後應垂直平台麵),四邊及其倒角是否平直一致。如果台麵未經過機械加工而是人工打磨出來的孔口倒角是大小不一致的,沿台麵四周邊用目測即可看出台麵倒角處是彎曲的。
2、 固有頻率(≤2Hz)
固有頻率也稱自然頻率、自振頻率,隻有在環境擾動力頻率(f)與精密光學平台的固有頻率(fo)的比值f/fo>√2時係統才有隔振作用。所以精密光學平台的固有頻率越低,隔振效果效果就越好。該指標的檢測一般采用振動頻譜分析儀及便攜式振動分析儀來進行多點測量,如供應商不具備儀器測量,您也可用以下方法:用手用力壓下(或側推)平台,然後迅速鬆開,讓其大幅度上下振動(或左右、前後擺動)起來,如一秒鍾內往複一次即為1Hz,二次即為2Hz,依此類推。須可粗略測得精密光學平台的固有頻率。
3、 平麵度(≤0.05㎜/㎡)
該指標越小即表明台麵越平整,調整光路就越容易。一般出廠要求平麵度小於0.05㎜/㎡,檢測方法一般有:光電自準直儀法、光學平麵度檢查儀檢測法、水平儀檢測法、激光平麵度檢測儀等等。對安裝在實驗室的精密光學平台平麵度一般采用光電直準儀和光學平直度檢查儀檢測,經計算後得出。這些儀器也是生產廠商應必須配置的。
4、 表麵密迪紋理及粗糙度(Ra≤0.8μm)
該指標的意義在於保證精密光學平台有一個光滑但無反射的工作表麵。良好的表麵粗糙度有利對實驗儀器的保護,產品出廠要求一般在Ra≤0.8μm以下,粗糙度完成可采用對比樣板目測和粗糙度儀檢測,如果是現場檢測可采用粗糙度儀完成。該儀器具有便攜、可直讀數據、精度高等優點。
5、 重複定位精度(±0.10㎜)
該指標意義在於保證工作台麵在動態條件下的水平,以方便使用者高速光路,檢測方法是將百分表(精度0.02㎜)固定在穩固的物體上,表頭頂住台麵,然後在工作台麵上反複加載或卸載,待穩定後讀數在範圍正負0.10㎜以內即為合格。
6、 工作台麵的振幅(So≤2μm)
在正常的使用環境下,為了保證儀器的使用精度,精密光學平台必須提供盡可能低的振幅。同時也可通過台麵和地麵振幅指標的對比,反映係統的隔振性能。如平台振幅小於地麵振幅,則平台是隔振的,反之則是不隔振或振動放大的。振幅指標的檢測,類同固有頻率檢測。
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